SMC流量傳感器

特點應用:

以制作在白金薄膜中的加熱器(Rh)為中心，左右對稱配置上游測溫傳感器(Ru)和下游測溫傳感器(Rd)，

再加上作為氣體測溫用的環(huán)境溫度傳感器(Ra)構成本MEMS傳感器觸點。

原理如右圖所示，(a)氣體在靜止狀態(tài)時，以Rh為中心加熱后的氣體溫度呈分布均等狀態(tài)，Ru · Rd同時顯示同樣的電阻值。

此外.(b)氣體由左側(cè)向右側(cè)流動時．被加熱的氣體溫度分布不再對稱，Pd的電阻值會變?yōu)榇笥赗u。

由于Ru和Rd電阻值的差與流動氣體的流速成比例，因此可測定其電阻值并根據(jù)計算處理得知氣體的流向和流速(流量)。

Ra用于補償氣體溫度或者環(huán)境溫度。

●微小工件的吸附確認

●重復精度: ± 2% F.S.以下

●響應速度: 5 ms 以下、耐壓: 500 kPa

測定流量范圍300.0～3.0L/min

類型分離型傳感器部

適用流體干燥空氣 / N?

OUT1輸出形式模擬電壓輸出

傳感器響應時間0.005 s

配管規(guī)格M5X0.8

模擬輸出精度±5% F.S.

重復精度±2% F.S.

電源電壓DC12～24V±10%

消耗電流16mA以下

可選項-無L型托架

●無潤滑脂、對應RoHS

●一個電壓監(jiān)控器即可對應全部量程

●相關元件:真空過濾器ZFC050系列

SMC流量傳感器使用安裝注意事項

　　1.利用底部4個固定螺絲孔,依現(xiàn)場及機器安裝空間設施需要,直接安裝或另加保護或其他機械使用.

　　日本SMC傳感器安裝時,須注意水平角度,亦即盡量使鋼索由出線口至移動部位之機構,于工作時水平滑動， 保持小角度(容許偏差+/-30)以確保量測精度及鋼索之壽命.

　　日本SMC傳感器是不銹鋼加涂氟層,請勿讓其受外力的割傷﹑燒損﹑撞擊等不當之事發(fā)生：過量的粉塵﹑積屑或是足以破壞鋼索的物品貯留于內(nèi)部的滑輪或出線口將造成鋼索破損,導致運轉(zhuǎn)不順的故障.

　　日本SMC傳感器未安裝于工作臺或固定坐前,請勿用手或是其它產(chǎn)品將鋼索拉出并讓其瞬間自行彈回.此舉將造成鋼索斷裂,傷害本體結(jié)構及人身安全.

　　日本SMC傳感器產(chǎn)品的往復運動的瞬間加速優(yōu)良不可超過1米/秒;MPS-L和MPS-L-P系列產(chǎn)品的往復運動的瞬間加速優(yōu)良不可超過0.5米/秒;此舉將造成鋼索斷裂.